蛍光X線分析装置および分析方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤本英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-294245
公開番号（公開出願番号）：特開平7-128262
出願日： 1993年10月30日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：

【要約】【目的】真空到達時間を短縮するとともに、X線の防爆を行う目的以外のために重量化を施すことの無い蛍光X線分析装置および分析方法を得ること。【構成】試料台18の測定部位21にセットされた試料3にX線管1から出射された一次X線2が照射されて発生した二次X線4を検出する検出器5と、一次X線2および二次X線4を真空雰囲気中に保持するために試料台18とでX線パス部6を形成するベンチ17と、X線パス部6を真空雰囲気にする真空ポンプ13とを有し、更に、X線パス部6の真空シール機構が、X線管1とベンチ17間、検出器5とベンチ17間、および、試料台18とベンチ17間に各々設けられた真空シール部材9,10,19並びに、測定部位21に形成されている測定口18aの近傍を試料台上面側から包囲する真空シール部材20からなる。

請求項（抜粋）：

試料台と、この試料台の測定部位にセットされた試料にX線管から出射された一次X線が照射されて発生した二次X線を検出する検出器と、前記一次X線および二次X線を真空雰囲気中に保持するために前記試料台とでX線パス部を形成するベンチと、真空ホースを介して前記X線パス部を真空雰囲気にする真空ポンプとを有し、更に、前記X線パス部の真空シール機構が、前記X線管とベンチ間、前記検出器とベンチ間、および、前記試料台とベンチ間に各々設けられた真空シール部材並びに、前記測定部位に形成されている測定口の近傍を試料台上面側から包囲する真空シール部材からなる蛍光X線分析装置。

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