特許
J-GLOBAL ID：200903082474526668
圧電振動角速度計及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
稲本 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-060501
公開番号（公開出願番号）：特開平8-261763
出願日： 1995年03月20日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：
【要約】【目的】 圧電振動角速度計の低コスト化、小型化を図る。【構成】 Siウエハ1上に窒化珪素膜2、下部電極5、PZT圧電膜6及び上部電極7を順次積層形成し、上部電極7を梁の軸方向に沿って分割して、駆動用電極7aと検出用電極7b,7cを構成した。
請求項（抜粋）：
梁構造の単結晶シリコン基板上に平行に形成された上部電極、圧電薄膜、及び下部電極を備え、前記圧電薄膜の正逆の圧電効果を利用して回転角速度を検出する圧電振動角速度計において、前記上部電極または下部電極のいずれか一方を、前記梁の軸方向に沿って少なくとも2個に分割して、駆動用電極と検出用電極とを別個に構成し、前記検出用電極が検出した電圧の変化により、コリオリ力に起因する圧電信号を検出するようにしたことを特徴とする圧電角振動速度計。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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