特許
J-GLOBAL ID：200903082482188615
光導波路デバイスの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-166485
公開番号（公開出願番号）：特開平6-011673
出願日： 1992年06月25日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：
【要約】【目的】 光変調器,光スイッチ等の光導波路デバイスの製造方法に関し、光導波路デバイスの端面の鏡面形成の際の不安定要因を抑え、再現性が良く光結合損失が小さく、また光デバイスの取扱時に、光導波路及び制御電極が損傷する恐れがないことを目的とする。【構成】 基板の表面側に形成した光導波路と、制御電極とからなる光導波路デバイスの製造にあたり、母材1をマトリックス状に区画し、左右の端部がYーYラインに直交する光導波路3をそれぞれ区画に形成し、それぞれのYーYラインの内側に、YーYラインに平行する帯状の金属膜20を、制御電極5,6 を形成する際に同時に設け、金属膜20の側端面をガイドにして、母材1と同材料よりなる短冊板10をYーYライン上に貼着し、その後、母材1をYーYライン及びXーXラインで切断して、個々の基板2に分離する構成とする。
請求項（抜粋）：
電気光学結晶よりなる基板の表面側に形成した光導波路と、該光導波路の上部に所望に形成した制御電極と、からなる光導波路デバイスの製造にあたり、母材(1) をマトリックス状に区画し、左右の端部がYーYラインに直交する該光導波路(3) を、それぞれの区画に形成し、それぞれの該YーYラインの内側に、該YーYラインに平行する帯状の金属膜(20)を、該制御電極(5,6) を形成する際に同時に形成し、該金属膜(20)の側端面をガイドにして、該母材(1) と同材料よりなる短冊板(10)を該YーYライン上に貼着し、その後、該母材(1) をそれぞれの該YーYライン及び該XーXラインで切断して、個々の基板(2) に分離することを特徴とする光導波路デバイスの製造方法。
IPC (2件)：
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