特許

J-GLOBAL ID：200903082482794027

水晶振動子

発明者： 山田 寛 ,  石川 学
出願人/特許権者： キンセキ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-259204
公開番号（公開出願番号）：特開2003-087087
出願日： 2001年08月29日
公開日（公表日）： 2003年03月20日
要約：

【要約】【課題】高周波水晶振動子でスプリアス振動を抑制するために、振動面に斜面が存在しない水晶素板を搭載した高周波基本波の水晶振動子を提供する。【解決手段】 エッチングで水晶素板上の振動面にスリットを形成し、水晶の結晶方位で形成される傾斜部で発生するスプリアスを排除し、水晶素板上の振動面に平坦な平面度を得ると同時に水晶素板の裏面と良好な平行度を得、必要な主振動の高周波基本波の周波数を得る。同時にスリットは水晶素板の凹部薄板状の圧電素板振動部にフォトリソ技術を使用して形成する為、歩留まりの改善ができる。本発明による水晶振動子を用い水晶発振器を構成する時、主振動以外の不要な振動やスプリアスの発生による周波数ジャンプ等の無い高安定の高周波基本波周波数を得、総合的な歩留まりを改善できる。

請求項（抜粋）：

水晶素板薄板の振動部と、その周囲を囲う水晶素板厚板の補強部とが一体になった水晶振動子において、該水晶素板薄板の振動部と該水晶素板厚板の補強部との間にスリットを有することを特徴とする水晶振動子。

IPC (3件)：

H03H 9/19 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18

FI (3件)：

H03H 9/19 D ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/18 101 A

Fターム (8件)：

5J108AA01 ,  5J108BB02 ,  5J108CC04 ,  5J108CC10 ,  5J108CC11 ,  5J108CC13 ,  5J108DD02 ,  5J108KK01