特許
J-GLOBAL ID：200903082485369319
シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八田 幹雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-291610
公開番号（公開出願番号）：特開2001-114590
出願日： 1999年10月13日
公開日（公表日）： 2001年04月24日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、石英ガラスルツボ内側表面で石英ガラスの結晶相を短時間で均一に生成させ、無転位単結晶引上を長時間継続し続けることができる石英ガラスルツボを提供することを目的とする。【解決手段】 少なくともシリコン融液と接することとなる石英ガラスルツボ内側表面において、石英ガラス母材表面が0.02μm〜20μmの算術平均粗さであって、かつ、該母材表面にシリコンの融点よりも高融点である物質の被膜層を0.01μm〜50μmの厚さで有してなることを特徴とするシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ。
請求項（抜粋）：
少なくともシリコン融液と接することとなる石英ガラスルツボ内側表面において、石英ガラス母材表面が0.02μm〜20μmの算術平均粗さであって、かつ、該母材表面にシリコンの融点よりも高融点である物質の被膜層を0.01μm〜50μmの厚さで有してなることを特徴とするシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (12件)：
4G062AA11
, 4G062AA18
, 4G062BB02
, 4G062CC09
, 4G062MM07
, 4G062NN34
, 4G062QQ02
, 4G077AA02
, 4G077BA04
, 4G077EG02
, 4G077PD01
, 4G077PD05
