特許
J-GLOBAL ID:200903082487294120

非接触式光プローブおよびその製造方法、および そのプローブを用いた光記録再生装置若しくは 走査型近接場顕微鏡

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-000807
公開番号(公開出願番号):特開平9-184930
出願日: 1996年01月08日
公開日(公表日): 1997年07月15日
要約:
【要約】【課題】 本発明の目的は、光の波長に比べ微小な開口部を有した近接場顕微鏡用プローブまたは光記録再生用ヘッドにおいて、強い光強度を有したプローブまたはヘッドを提供することにある。【解決手段】 一端が非常に微小な開口径を有し、光を透過する物質で形成された中空の管1と、中空の管1の外面に形成され、中空の管1の内部を伝搬する光を内面で反射する反射膜2と、中空の管1の内部に有し、光が透過し中空の管1を形成する物質よりも高い屈折率を有する物質で形成された導波路部3とを備えた。
請求項(抜粋):
一端が非常に微小な開口径を有し、光を透過する物質で形成された中空の管と、前記中空の管の外面に形成され、前記中空の管の内部を伝搬する光を内面で反射する反射膜と、前記中空の管の内部に有し、光が透過し前記中空の管を形成する物質よりも高い屈折率を有する物質で形成された導波路部とを備えたことを特徴とする非接触式光プローブ
IPC (6件):
G02B 6/02 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/27 ,  G02B 6/20 ,  G11B 7/135 ,  G11B 7/22
FI (6件):
G02B 6/02 C ,  G01B 11/30 Z ,  G01N 21/27 E ,  G02B 6/20 Z ,  G11B 7/135 A ,  G11B 7/22

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