特許

J-GLOBAL ID：200903082488690649

分光エリプソメータ

発明者： 大槻 久仁夫 ,  西條 豊
出願人/特許権者： 株式会社堀場製作所
代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-325362
公開番号（公開出願番号）：特開2002-131136
出願日： 2000年10月25日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
要約：

【要約】【課題】 極めて簡単かつ合理的な改良技術によって、色収差の発生が効果的に防止されるようになった分光エリプソメータを提供する。【解決手段】 試料8の表面8aに多波長の直線偏光6をスポット入射する入射光学系1と、試料表面8aで反射した楕円偏光10の偏光変化量に基づいて試料表面に関するデータを出力する検出光学系9とから成る分光エリプソメータにおいて、入射光学系1に用いる偏光子として、入射と出射表面の形状が各入射・出射光の直進方向に対して直角な曲面を有する球面プリズム5を選択している。

請求項（抜粋）：

試料表面に多波長の偏光光をスポット入射する入射光学系と、試料表面で反射した楕円偏光の偏光変化量に基づいて試料表面に関する情報を出力する検出光学系とからなる分光エリプソメータであって、入射光学系に用いる偏光子として、入射と出射表面の形状が各入射・出射光の直進方向に対して直角な曲面を有するプリズムを用いることを特徴とする分光エリプソメータ。

IPC (4件)：

G01J 4/04 ,  G01B 11/06 ,  G01N 21/21 ,  G01N 21/41

FI (4件)：

G01J 4/04 Z ,  G01B 11/06 Z ,  G01N 21/21 Z ,  G01N 21/41 Z

Fターム (35件)：

2F065AA30 ,  2F065BB01 ,  2F065CC17 ,  2F065DD03 ,  2F065FF49 ,  2F065GG03 ,  2F065GG10 ,  2F065HH09 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ15 ,  2F065LL02 ,  2F065LL19 ,  2F065LL47 ,  2F065LL63 ,  2F065LL67 ,  2G059AA02 ,  2G059BB16 ,  2G059CC20 ,  2G059DD13 ,  2G059EE02 ,  2G059EE05 ,  2G059EE11 ,  2G059FF01 ,  2G059GG10 ,  2G059HH01 ,  2G059HH02 ,  2G059HH03 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ12 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ30 ,  2G059LL02 ,  2G059LL10