特許

J-GLOBAL ID：200903082490941276

ミラー駆動装置

発明者： 藤田 淳
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-386956
公開番号（公開出願番号）：特開2002-189176
出願日： 2000年12月20日
公開日（公表日）： 2002年07月05日
要約：

【要約】【課題】 ミラーを動かすことができる角度の範囲を大きくでき、耐振動性に優れたミラー駆動装置を提供する。【解決手段】 第1の主面と第2の主面を有しかつ上記第1の主面から上記第2の主面に貫通する開口部を有する第1の基板と、一端と他端とを有しその他端の近傍で第1の基板の第1の主面に接合され、他端を電気信号に対応させて移動させることができるアクチュエーターと、第3の主面と第4の主面を有し、その第3の主面にピボットが形成されてなり、そのピボットが開口部の略中央に位置するように第1の基板の第2の主面と上記第3の主面が接合された第2の基板と、一方の主面と他方の主面とを有し、アクチュエーターの他端と外周の一部で接合されかつ一方の主面の略中央部が上記ピボットの先端により支持されたプレートとを備えた。

請求項（抜粋）：

第1の主面と第2の主面を有しかつ上記第1の主面から上記第2の主面に貫通する開口部を有する第1の基板と、一端と他端とを有しその他端の近傍で上記第1の基板の第1の主面に接合され、上記他端を電気信号に対応させて移動させることができるアクチュエーターと、第3の主面と第4の主面を有し、その第3の主面にピボットが形成されてなり、そのピボットが上記開口部の略中央に位置するように上記第1の基板の第2の主面と上記第3の主面が接合された第2の基板と、一方の主面と他方の主面とを有し、上記アクチュエーターの他端と外周の一部で接合されかつ上記一方の主面の略中央部が上記ピボットの先端により支持されたプレートとを備えたことを特徴とするミラー駆動装置。

Fターム (5件)：

2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ08