光学距離測定用のシステムと方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小田島平吉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-553192
公開番号（公開出願番号）：特表2005-513429
出願日： 2002年12月18日
公開日（公表日）： 2005年05月12日
要約：

本発明の方法は測定されるべき対象の1つ以上の特性を測定するための精確な位相ベースの技術に向けられている。この様な特性は、例えば、任意の長さの距離を含み、好ましくはナノメートル未満の精度を伴うことが出来る。本発明の好ましい実施例は調波的に関係付けられた複数光源、1つの連続波{シーダブリュー(CW)}と、低コヒーレンス{エルシー(LC)}を有する第2源と、を有する干渉計、例えば、マイケルソン干渉計(Michelsoninterferometer)を使う。該低コヒーレンス源は、要求されるバンド幅が波長及び応用の関数として変わり得るが、スペクトルバンド幅、好ましくは、例えば、1マイクロメートル(μ)の波長用に5nmより大きいのがよいバンド幅、を提供する。目標サンプルの様な測定されるべき対象の走査間で該低コヒーレンス源の中心波長を僅かに調整することにより、該シーダブリューと低コヒーレンス光のヘテロダイン信号間の位相関係は、反射する面又はインターフエース間の間隔をナノメートル未満の精度で測定するために使用され得る。この技術は、大抵の位相ベースの技術を悩ます課題である、2π曖昧性から完全に解放されるので、それは精度の損失無しに任意の長さの光学距離の測定に使用出来る。本発明の方法の好ましい実施例の応用は、既知の物理的厚さを有するサンプルの与えられた波長での屈折率の精密決定である。本発明の方法の好ましい実施例のもう1つの応用は既知の屈折率を有するサンプルの物理的厚さの精密決定である。本発明の方法の好ましい実施例の更に進んだ応用は2つの与えられた波長での屈折率比の精密決定である。

請求項（抜粋）：

光学距離を測定する方法に於いて、該方法が第1波長及び第2波長の光を提供する過程と、該第1波長及び該第2波長の光を第1光路及び第2光路に沿って導く過程とを具備しており、該第1光路は測定されるべき媒体上へ延びておりそして該第2光路は路長の変化を受けており、該方法は又該媒体と相互作用する光の位相の第1変化を測定するために該媒体からの光と該第2光路からの光とを検出する過程と、第3波長の光を発生するために該第1波長の光を調整する過程と、該第3波長と該第2波長の光を該第1光路と該第2光路に沿って導く過程とを具備しており、該第1光路は測定されるべき該媒体上へ延びておりそして該第2光路は路長の変化を受けており、該方法は更に該媒体との相互作用する光の位相の第2変化を測定するために該媒体からの光と該第2光路からの光とを検出する過程と、少なくとも2つの位相交叉点を決定するために位相の該第1変化と位相の該第2変化とを解析する過程と、そして該少なくとも2つの位相交叉点間の干渉縞を用いて該光学距離を決定する過程とを具備することを特徴とする該方法。

IPC (6件)：

G01N21/17 , A61B3/10 , G01B9/02 , G01B11/00 , G01B11/02 , G01N21/45

FI (7件)：

G01N21/17 630 , G01B9/02 , G01B11/00 G , G01B11/02 G , G01N21/45 A , A61B3/10 Z , A61B3/10 R

Fターム (52件)：

2F064AA01 , 2F064EE01 , 2F064FF01 , 2F064FF02 , 2F064FF03 , 2F064GG02 , 2F064GG12 , 2F064GG22 , 2F064GG55 , 2F064HH01 , 2F064HH06 , 2F064JJ01 , 2F064JJ05 , 2F065AA06 , 2F065AA30 , 2F065CC16 , 2F065DD03 , 2F065FF52 , 2F065GG02 , 2F065GG04 , 2F065GG06 , 2F065GG23 , 2F065GG24 , 2F065HH04 , 2F065HH13 , 2F065JJ01 , 2F065JJ05 , 2F065JJ09 , 2F065LL02 , 2F065LL12 , 2F065NN05 , 2F065NN06 , 2F065QQ03 , 2F065QQ25 , 2F065QQ28 , 2F065SS03 , 2F065UU07 , 2G059AA02 , 2G059BB12 , 2G059EE09 , 2G059EE11 , 2G059GG01 , 2G059GG03 , 2G059HH01 , 2G059HH06 , 2G059JJ07 , 2G059JJ11 , 2G059JJ13 , 2G059JJ17 , 2G059KK03 , 2G059MM01 , 2G059MM04

引用特許：

審査官引用 (1件)

位相分散式トモグラフイー
公報種別：公表公報出願番号：特願2002-502414 出願人：マサチユセツツ・インスチチユート・オブ・テクノロジイ

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