固体撮像素子及びその作製方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本孝久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-296665
公開番号（公開出願番号）：特開平6-125069
出願日： 1992年10月09日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：

【要約】【目的】光電変換特性にリップルが生じることがなく、スミアも生じ難く、しかも、反りの小さい固体撮像素子、及びかかる固体撮像素子の作製方法を提供する。【構成】受光部を有する本発明の固体撮像素子は、(A)受光部以外の固体撮像素子の部分12の上に形成された第1のパッシベーション膜32,34と、(B)少なくとも受光部10の上に形成された第2のパッシベーション膜38、とを備えていることを特徴とする。受光部を有する固体撮像素子の上にパッシベーション膜を形成する工程を含む本発明の固体撮像素子の作製方法は、(イ)第1のパッシベーション膜32,34を、受光部以外の固体撮像素子の部分12の上に形成する工程と、(ロ)第2のパッシベーション膜38を、少なくとも受光部10の上に形成する工程、から成る。

請求項（抜粋）：

受光部を有する固体撮像素子であって、(A)受光部以外の固体撮像素子の部分の上に形成された第1のパッシベーション膜と、(B)少なくとも受光部の上に形成された第2のパッシベーション膜、とを備えていることを特徴とする固体撮像素子。

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