特許
J-GLOBAL ID:200903082504471340

レンズ面形状の測定方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-235981
公開番号(公開出願番号):特開平10-062142
出願日: 1996年08月19日
公開日(公表日): 1998年03月06日
要約:
【要約】【課題】 被測定レンズ面が非球面形状でも、高精度で測定原点を設定し、レンズ面形状の測定が可能なレンズ面形状の測定方法を提供する。【解決手段】 初期原点設定ステップで初期原点が設定され、座標値測定ステップで、初期原点により被測定レンズの頂点近傍の被測定方向に直交する座標面で、被測定方向に直角な座標値に対するz座標値が測定され、このz座標値に基づき、推定演算ステップでモデル式〔数1〕;【数1】の最適パラメータx0,z0,c,k,e4,e6・・が推定演算され、測定原点設定ステップで、最適パラメータx0,z0,c,k,e4,e6・を用い、初期原点の並進移動で測定原点が設定され、測定ステップで、被測定面が非球面形状でも測定原点により被測定レンズの頂点を含む断面形状の測定が高精度で行われる。
請求項(抜粋):
被測定レンズのレンズ面形状の測定を、非球面式を(x0,z0)並進移動させたモデル式〔数1〕;【数1】に基づいて行うレンズ面形状の測定方法であり、初期原点を設定する初期原点設定ステップと、該初期原点設定ステップで設定された初期原点を原点とし、前記被測定レンズの被測定面の頂点の近傍において、被測定方向に直交する座標面で、前記被測定面の前記被測定方向に直角な座標値に対応するz座標値を測定する座標値測定ステップと、該座標値測定ステップで得られたz座標値に基づいて、最小二乗法により前記モデル式の最適パラメータx0,z0,c,k,e4,e6・・・を推定演算する推定演算ステップと、該推定演算ステップで得られた最適パラメータx0,z0,c,k,e4,e6・・・を用いて、前記初期原点を並進移動させ、測定原点を設定する測定原点設定ステップと、該測定原点設定ステップで得られる測定原点に基づいて、前記被測定レンズのレンズ面形状の測定を行う測定ステップとを有することを特徴とするレンズ面形状の測定方法。
IPC (2件):
G01B 11/24 ,  G01M 11/00
FI (2件):
G01B 11/24 M ,  G01M 11/00 L

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