特許

J-GLOBAL ID：200903082504872230

直径測定方法、直径加工・測定方法および装置、被加工物の心出し装置

発明者： 田中 克敏 ,  西岡 昌彦
出願人/特許権者： 東芝機械株式会社
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-180826
公開番号（公開出願番号）：特開平10-026523
出願日： 1996年07月10日
公開日（公表日）： 1998年01月27日
要約：

【要約】【課題】 0.1μm程度の測定精度をもって直径を測定すること。【解決手段】 円盤状の測定基準部材9と被測定物Mとを外周基準受け部材7によって外周面を基準として2点支持し、外周基準受け部材7と対向する側に設置された計測基準位置から測定基準部材9の外周面までの径方向の計測基準変位量および被測定物Mの外周面までの径方向の被測定物変位量を各々変位計21によって計測し、計測基準変位量に対する被測定物変位量の偏差より被測定物Mの直径を算出する。

請求項（抜粋）：

円盤状の測定基準部材と被測定物とを外周基準受け部材によって外周面を基準として2点支持し、前記外周基準受け部材と対向する側に設置された計測基準位置から前記測定基準部材の外周面までの径方向の計測基準変位量および前記被測定物の外周面までの径方向の被測定物変位量を各々変位計によって計測し、前記計測基準変位量に対する被測定物変位量の偏差より前記被測定物の直径を算出することを特徴とする直径測定方法。