特許

J-GLOBAL ID：200903082506333476

欠陥検査装置

発明者： 今西 顕史 ,  勝見 栄雄 ,  森本 勉 ,  高松 弘行 ,  山本 雄治
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所 ,  ジェネシス・テクノロジー株式会社
代理人 (1件)： 本庄 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-209107
公開番号（公開出願番号）：特開2000-046537
出願日： 1998年07月24日
公開日（公表日）： 2000年02月18日
要約：

【要約】【課題】 ウェーハに検査光を照射する照明と,照明により検査光が照射されたウェーハからの散乱光を検出するカメラと,カメラにより検出されたウェーハからの散乱光についての2次元画像に基づいてウェーハの欠陥を検査する画像処理装置とを具備する従来の欠陥検査装置では,埃が付着したり,欠陥が埃等で塞がれた場合,誤検出を行い易かった。【解決手段】 本発明は,ウェーハ1の内部に上記カメラ3の焦点位置3aを合わせて上記欠陥からの散乱光についての2次元画像を撮像することにより,欠陥の検査精度を向上させることを図ったものである。

請求項（抜粋）：

被検査物に検査光を照射する検査光照射手段と,上記検査光照射手段により検査光が照射された上記被検査物からの散乱光を検出する散乱光検出手段と,上記散乱光検出手段により検出された上記被検査物からの散乱光に基づいて上記被検査物の欠陥を検査する検査手段とを具備してなる欠陥検査装置において,上記散乱光検出手段が,上記被検査物内部に焦点位置を合わせて上記被検査物からの散乱光を検出するものであることを特徴とする欠陥検査装置。

IPC (3件)：

G01B 11/30 ,  G01N 21/88 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01B 11/30 D ,  G01N 21/88 E ,  H01L 21/66 J

Fターム (44件)：

2F065AA58 ,  2F065AA60 ,  2F065AA63 ,  2F065BB03 ,  2F065CC19 ,  2F065DD03 ,  2F065DD10 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF44 ,  2F065GG02 ,  2F065GG04 ,  2F065GG21 ,  2F065HH03 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL26 ,  2F065MM04 ,  2F065PP13 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ25 ,  2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051BA01 ,  2G051BA04 ,  2G051BA06 ,  2G051BB01 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB05 ,  2G051DA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EB01 ,  4M106AA01 ,  4M106BA04 ,  4M106BA05 ,  4M106BA08 ,  4M106CB19 ,  4M106DH00 ,  4M106DH12 ,  4M106DH31 ,  4M106DH32