特許
J-GLOBAL ID：200903082509602974
平板状基板の表面欠陥検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川崎 隆夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-330851
公開番号（公開出願番号）：特開平11-148902
出願日： 1997年11月17日
公開日（公表日）： 1999年06月02日
要約：
【要約】【課題】 検査対象基板の搬送を実質的に両側縁の点接触で且つ迅速に行って表面検査をなし得るようにし、併せて、反射光方式、散乱光方式および透過光方式による各表面検査を適用可能にすると共に、幅寸法の異なる検査対象基板の表面検査を可能にする。【解決手段】 径小側端面を相互に所要間隔で対向させた一組づつのテーパーローラー12を搬送方向へ列状に配置し、対向するテーパーローラ12、12間に跨って検査対象基板Aを搬送させ得るようにすると共に、該テーパーローラー列間の所要位置に検査空間部13を設定した搬送機構11と、各組のテーパーローラー12、12間の搬送中心に添わせた所要幅範囲内で検査空間部13を除いて配置され、搬送される検査対象基板Aの搬送方向中心部を下部側からの噴出エアー22で浮上させて重力の影響を排除するエアーフローティング機構21と、検査空間部13を通過する検査対象基板Aの表面状況を搬送方向に直交する一次元方向で連続して光学的に検出する手段(41〜43)とを備えて構成する。
請求項（抜粋）：
径小側端面を相互に所要間隔で対向させた一組づつのテーパーローラーを搬送方向へ列状に配置し、該対向するテーパーローラ間に跨って検査対象基板を搬送させ得るようにすると共に、該テーパーローラー列間の所要位置に検査空間部を設定した搬送機構と、前記各組のテーパーローラー間の搬送中心に添わせた所要幅範囲内で前記検査空間部を除いて配置され、前記搬送される検査対象基板の搬送方向中心部を下部側からの噴出エアーで浮上させて重力の影響を排除するエアーフローティング機構と、前記検査空間部を通過する検査対象基板の表面状況を搬送方向に直交する一次元方向で連続して光学的に検出する手段とを備えることを特徴とする平板状基板の表面欠陥検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, B65H 5/06
, G01B 11/30
G01N 21/88 D
, G01N 21/88 Z
, B65H 5/06 Z
, G01B 11/30 C
