導電体用エッチング液及びこれを利用した薄膜トランジスタ表示板の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人共生国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-051045
公開番号（公開出願番号）：特開2006-135282
出願日： 2005年02月25日
公開日（公表日）： 2006年05月25日
要約：

【課題】製造工程及び費用を最少化しながらも優れたプロファイルを得ることができる導電体用エッチング液及びこれを利用した薄膜トランジスタ表示板の製造方法を提供する。【解決手段】導電体を65乃至75重量%のリン酸、0.5乃至15重量%の硝酸、2乃至15重量%の酢酸、0.1乃至8.0重量%のカリウム化合物及び残量の水を含むエッチング液組成物を利用して写真エッチングする段階を含む。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

65乃至75重量%のリン酸、0.5乃至15重量%の硝酸、2乃至15重量%の酢酸、0.1乃至8.0重量%のカリウム化合物及び残量の水を含む、導電体用エッチング液組成物。

IPC (7件)：

H01L 21/308 , C09K 13/06 , H01L 21/28 , H01L 51/50 , H01L 21/336 , H01L 29/786 , H01L 21/321

FI (11件)：

H01L21/308 F , C09K13/06 101 , H01L21/28 E , H05B33/14 A , H01L29/78 612D , H01L29/78 616K , H01L29/78 617J , H01L29/78 627C , H01L29/78 617L , H01L29/78 616U , H01L21/88 C

Fターム (84件)：

3K007AB18 , 3K007BA06 , 3K007CB00 , 3K007DB03 , 3K007FA00 , 3K007GA00 , 4M104BB02 , 4M104BB16 , 4M104BB29 , 4M104BB36 , 4M104CC01 , 4M104CC05 , 4M104DD34 , 4M104DD37 , 4M104DD64 , 4M104FF13 , 4M104GG09 , 4M104GG10 , 4M104GG14 , 4M104HH20 , 5F033HH07 , 5F033HH08 , 5F033HH09 , 5F033HH20 , 5F033HH32 , 5F033HH38 , 5F033MM08 , 5F033PP15 , 5F033PP19 , 5F033QQ08 , 5F033QQ20 , 5F033VV15 , 5F033WW03 , 5F033WW04 , 5F033XX33 , 5F033XX34 , 5F043AA27 , 5F043BB18 , 5F043GG02 , 5F110AA16 , 5F110AA28 , 5F110BB01 , 5F110CC07 , 5F110DD02 , 5F110EE01 , 5F110EE03 , 5F110EE04 , 5F110EE06 , 5F110EE14 , 5F110EE23 , 5F110EE38 , 5F110EE42 , 5F110EE44 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF27 , 5F110GG02 , 5F110GG15 , 5F110GG22 , 5F110GG35 , 5F110GG42 , 5F110HK03 , 5F110HK05 , 5F110HK06 , 5F110HK09 , 5F110HK16 , 5F110HK22 , 5F110HK32 , 5F110HK33 , 5F110HK42 , 5F110HL07 , 5F110HL23 , 5F110HM03 , 5F110NN03 , 5F110NN22 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN27 , 5F110NN35 , 5F110NN71 , 5F110NN72 , 5F110NN73 , 5F110QQ05 , 5F110QQ09

引用特許：

審査官引用 (3件)

エッチング液組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-192791 出願人：三菱瓦斯化学株式会社
液晶表示装置及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-150092 出願人：日本電気株式会社, 秋田日本電気株式会社
ウェットエッチング方法およびウェットエッチング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-087269 出願人：オプトレックス株式会社, 旭硝子株式会社

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