形状測定方法及び装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-256904
公開番号（公開出願番号）：特開2002-071344
出願日： 2000年08月28日
公開日（公表日）： 2002年03月08日
要約：

【要約】【課題】従来、レンズの裏面または外径を基準としたレンズ表面の傾き及び偏心を高精度に測定評価する形状測定方法及び測定装置がなかった。【解決手段】 3個の位置決め球11aが表裏から飛び出した状態で固定されレンズの表面1aとレンズ裏面1bが見える状態で支持する治具11により構成され、レンズ表面側において、測定用プローブによるXY座標方向への走査により測定し、この各位置決め球11aの頂点座標を算出したのちに、各頂点座標で形成される平面と各2つの頂点座標の垂直2等分線に基づいて治具を基準とするレンズ表面の傾き及び偏心を算出し、同様にレンズ裏面側においても治具を基準とするレンズ裏面の傾き及び偏心を算出し、レンズの表面と裏面の相対的位置関係(光軸ずれ)を算出する。

請求項（抜粋）：

位置情報が既知な3点がなす平面の片面(以下表面と記す)からこの平面に平行な方向(以下XY方向と記す)に走査して、対象物のこの平面に垂直な方向(以下Z方向と記す)のデータ列を求めてこの対象物の表面側形状を測定する工程と、この測定した前記対象物の表面側形状データと設計形状データとから、前記平面と前記3点から求めた基準点からの前記対象物の表面側形状のずれ量を算出する工程と、前記表面と反対の面(以下裏面と記す)からXY方向に走査してZ方向のデータ列を求めて前記対象物の裏面側形状を測定する工程と、この測定した前記対象物の裏面側形状データと設計形状データとから、前記平面と前記基準点からの前記対象物の裏面側形状のずれ量を算出する工程と、前記表面側形状のずれ量と前記裏面側形状のずれ量から、前記対象物の表面側と裏面側の相対位置関係を算出する工程とを備えたことを特徴とする形状測定方法。

IPC (2件)：

G01B 21/20 101 , G01M 11/00

FI (2件)：

G01B 21/20 101 , G01M 11/00 L

Fターム (11件)：

2F069AA06 , 2F069AA66 , 2F069BB40 , 2F069GG04 , 2F069GG07 , 2F069HH30 , 2F069JJ08 , 2F069NN00 , 2F069NN26 , 2G086FF01 , 2G086FF04

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