特許

J-GLOBAL ID：200903082514542718

真空脱ガス処理設備の真空度相互監視方法及び真空度計異常検知方法並びに真空脱ガス処理設備

発明者： 大滝 慶一 ,  矢野 俊典 ,  矢倉 重範 ,  森口 誠
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 萩原 康弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-332388
公開番号（公開出願番号）：特開平8-170116
出願日： 1994年12月14日
公開日（公表日）： 1996年07月02日
要約：

【要約】【目的】 各真空計の異常のみならず、排気系での異常箇所が簡単に確認でき、真空発生装置への無駄なエネルギーの投入、目標真空度への到達遅れ等を解消する。【構成】 真空脱ガス処理設備において、真空発生装置系とそれに続くダストセパレーター系及び合金添加装置系に、それぞれ真空度計を設置し、真空脱ガス処理の操業パターンに応じ、それぞれ特定された真空度計の計測値を相互に比較し、その値が予め定められた値を超えたときに、比較した真空度計間の排気系の何れかの箇所に、大気との間にリークが発生していると判断する。

請求項（抜粋）：

真空脱ガス処理設備において、真空発生装置系とそれに続くダストセパレーター系及び合金添加装置系に、それぞれ真空度計を設置し、真空脱ガス処理の操業パターンに応じ、それぞれ特定された真空度計の計測値を相互に比較し、その値が予め定められた値を超えたときに、比較した真空度計間の排気系の何れかの箇所に、大気との間にリークが発生していると判断することを特徴とする真空脱ガス処理設備の真空度相互監視方法。