特許
J-GLOBAL ID：200903082526008318
ダイアフラムの製造方法およびダイアフラム板
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉信 興
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-039827
公開番号（公開出願番号）：特開平7-248061
出願日： 1994年03月10日
公開日（公表日）： 1995年09月26日
要約：
【要約】【目的】 マイクロポンプの被駆動流体の駆動において流体駆動効率が良く内部圧に対する変位特性の直進性の優れたダイアフラム板を提供する。【構成】 長手方向Xに分布し厚み方向Zに貫通した第1,第2作動流体孔(12,14)を有するシリコン板(7);第1作動流体孔(12)を閉じる一部中央が平坦化された、たわみを有するシリコン板の表面積より小さい第1ダイアフラム(8a〜e);第2作動流体孔(14)を閉じる全体が平坦化された第2ダイアフラム(9a〜e);および、第1作動流体孔(12)と第2作動流体孔(14)を幅方向Yに連通とする溝(13);を備える。
請求項（抜粋）：
次の工程を含むダイアフラムの製造方法:A.ダイアフラム原板を高温に維持しその表面にダイアフラム層を形成する工程;B.ダイアフラム原板に、前記ダイアフラム層で表面側が閉じられダイアフラム原板の裏面に開いた空間を形成する工程;および、C.前記空間に対向するダイアフラム領域の中央部の、該領域より狭い部分に選択的に光を照射してそこを局部的に加熱し平担化する工程。
IPC (4件)：
F16J 3/02
, F04B 43/02
, H01L 21/306
, H01L 29/84
