特許

J-GLOBAL ID：200903082536811283

化学機械研磨における終点の検出方法およびそれに用いる化学機械研磨用水系分散体

発明者： 服部 雅幸 ,  川橋 信夫
出願人/特許権者： ジェイエスアール株式会社
代理人 (1件)： 小島 清路
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-261716
公開番号（公開出願番号）：特開2002-075939
出願日： 2000年08月30日
公開日（公表日）： 2002年03月15日
要約：

【要約】【課題】 研磨時の化学機械研磨用水系分散体、または研磨廃液の色の変化により研磨の終点を検出する方法、およびそれに用いる水系分散体を提供する。【解決手段】 研磨パッド上の化学機械研磨用水系分散体の色の変化により、あるいは化学機械研磨時に廃棄される研磨廃液の色の変化により研磨の終点を検出する。この終点の検出は、被研磨膜の化学機械研磨時と研磨終了後とで色が変化する発色剤を含有する水系分散体を用いて行うことができる。被研磨膜が銅膜等の金属膜である場合は、ケイタングステン酸、リンタングステン酸等のヘテロポリ酸またはその塩、あるいはキナルジン酸、キノリン酸等の複素芳香環を備える有機酸またはその塩を発色剤として含有させることができる。被研磨膜が二酸化珪素膜等の絶縁膜である場合は、チモールフタレイン、フェノールフタレインなどのpHの変化により変色する化合物を含有させることができる。

請求項（抜粋）：

研磨パッド上の化学機械研磨用水系分散体の色の変化により終点を検出することを特徴とする化学機械研磨における終点の検出方法。

IPC (7件)：

H01L 21/304 622 ,  H01L 21/304 ,  B24B 37/04 ,  C09K 3/00 ,  C09K 3/14 550 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/3205

FI (7件)：

H01L 21/304 622 S ,  H01L 21/304 622 A ,  B24B 37/04 K ,  C09K 3/00 Y ,  C09K 3/14 550 Z ,  H01L 21/306 U ,  H01L 21/88 K

Fターム (29件)：

3C058AA07 ,  3C058AC02 ,  3C058AC04 ,  3C058BA09 ,  3C058CB03 ,  3C058CB04 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17 ,  5F033HH08 ,  5F033HH09 ,  5F033HH11 ,  5F033HH12 ,  5F033HH18 ,  5F033HH19 ,  5F033HH21 ,  5F033HH32 ,  5F033HH33 ,  5F033MM01 ,  5F033QQ48 ,  5F033QQ50 ,  5F033RR04 ,  5F033RR09 ,  5F033SS04 ,  5F033SS15 ,  5F033XX00 ,  5F043AA26 ,  5F043BB18 ,  5F043DD16 ,  5F043GG10