特許

J-GLOBAL ID：200903082539191006

表面電位測定装置

発明者： 大橋 幹夫 ,  竹本 武
出願人/特許権者： 株式会社リコー
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-119533
公開番号（公開出願番号）：特開平9-281167
出願日： 1996年04月18日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：

【要約】【課題】 SN比と信頼性を向上させ,安定した高感度な測定ができる簡単な構成で小型かつ安価な表面電位測定装置を提供する。【解決手段】 本発明の表面電位測定装置6は、被測定体2から所定の間隔を隔てた位置に被測定体2と電気的に独立して設けられた振動部材7からなる測定電極と,測定電極を振動させ,被測定体2と測定電極との間で形成される静電容量を変化させる振動駆動部8と,被測定体2の表面電位に対応して誘起される静電容量の変化に伴って変化する測定電極の電位を検出する電位信号検出部4とを備えている。

請求項（抜粋）：

被測定体から所定の間隔を隔てた位置に前記被測定体と電気的に独立して設けられた振動部材からなる測定電極と,前記測定電極を振動させ,前記被測定体と振動部材からなる前記測定電極との間で形成される静電容量を変化させる容量変化手段と,前記被測定体の表面電位に対応して誘起される前記静電容量の変化に伴って変化する前記測定電極の電位を検出する電位検出手段と,前記電位検出手段の検出信号から前記被測定体の表面電位を導き出す表面電位導出手段と,を備えたことを特徴とする表面電位測定装置。

IPC (2件)：

G01R 29/12 ,  G03G 15/00 303

FI (2件)：

G01R 29/12 A ,  G03G 15/00 303