特許

J-GLOBAL ID：200903082558035570

プラズマ処理用線形アーク放電発生装置

発明者： バルドス、 ラディスラフ ,  バランコヴァ、 ハナ
出願人/特許権者： サーフコート オーワイ
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-516761
公開番号（公開出願番号）：特表平10-509833
出願日： 1995年10月20日
公開日（公表日）： 1998年09月22日
要約：

【要約】5×104Pa以下のガス圧に保持された反応装置の中に設置され、交流発電機及び/又はパルス電源(10)によって駆動されるプラズマ処理、特に固体基板の表面処理用線形アーク放電発生装置及び0.4mmを超える距離で互いに対向して置かれ、かつ対向電極(3)に接続された逆極性を有する発電機の同一極性に接続された少なくとも一対の第1の電極板(1)及び第2の電極板(2)と、電極板間のスリットの両端間に少なくとも10-3テスラの成分を有する第1の電極板上の線形ホットゾーン(5)と第2の電極板上の線形ホットゾーン(6)の発生のための磁石(4)によって発生された磁界と、電極間との間に必要とされる作用ガス(8)を含み、かつアーク放電(9)が発生される電極板及び対向電極と電気的接触を有する電離環境(7)とを含む。

請求項（抜粋）：

5×104Pa以下のガス圧で反応装置に設置され、かつ交流の発電機及び/又はパルス電源(10)によって駆動されるプラズマ処理、特に固体基板の表面処理用線形アーク放電発生装置であって、 0.4mmを超える距離で互いに対向して配置され、かつ対向電極(3)に接続された逆極性を有する前記発電機の同極性に接続された少なくとも一対の第1の電極板(1)及び第2の電極板(2)と、 前記電極板間のスリットの両端間に少なくとも10-3テスラの成分を有する前記第1の電極板上の線形ホットゾーン(5)及び前記第2の電極板上の線形ホットゾーン(6)の発生のための磁石(4)によって発生された磁界と、 前記電極板間に必要とされる作用ガス(8)を含み、かつアーク放電(9)が発生される前記電極板及び前記対向電極との電気的接触を有する電離環境(7)とを特徴とする線形アーク放電発生装置。

IPC (5件)：

H05H 1/48 ,  C23C 14/24 ,  H01L 21/31 ,  H05H 1/34 ,  H05H 1/50

FI (5件)：

H05H 1/48 ,  C23C 14/24 F ,  H01L 21/31 C ,  H05H 1/34 ,  H05H 1/50

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-004976
  
• 特開昭62-238371
  
• 金属の表面処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-219684   出願人：新日本製鐵株式会社