特許
J-GLOBAL ID：200903082558375738
水置換乾燥方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-070385
公開番号（公開出願番号）：特開平9-255994
出願日： 1996年03月26日
公開日（公表日）： 1997年09月30日
要約：
【要約】【課題】 リンスに使用した水を置換し、さらに繰り返しを行う。【解決手段】 水を置換する溶剤として、プロピレングリコールまたはその誘導体、炭酸ジアルキルエステルまたはエーテル等の温度上昇とともに水の溶解度が上昇する有機溶剤を用いる。高温で水を溶解して被洗浄物から水を除去する。その後、冷却することで水を分離し、再使用する。
請求項（抜粋）：
被洗浄物に付着した水を溶剤で置換した後に乾燥させる水置換乾燥方法において、上記溶剤として、温度上昇とともに水の溶解度が上昇する有機溶剤を用いることを特徴とする水置換乾燥方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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