特許
J-GLOBAL ID：200903082559979980
実装済みプリント基板の検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-008783
公開番号（公開出願番号）：特開平6-221820
出願日： 1993年01月22日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：
【要約】【目的】 微小ビーム光をポリゴンミラーにより偏向して、実装済みプリント基板上を走査し、その反射光を受光して基板の表面形状を検査する検査装置に関し、ポリゴンミラーのジッターの影響を受けることなく、微小ビーム光の走査位置に応じて表面形状を検査できる様にする。【構成】 ポリゴンミラー3は、実装済みプリント基板の表面形状を検査する計測部51に対して、微小ビーム光を偏向し照射する。ポリゴンミラー3により偏向されされた光源37からの微小ビーム光が集光される走査線40上に沿って、スリット41及び光電変換素子42を配置する。光電変換素子42の各出力からポリゴンミラーの回転位置を検出し、基板の表面形状を検査すべきタイミングを示す信号を作成する。
請求項（抜粋）：
第1のビーム光をポリゴンミラーを用いて偏向し、検査すべき実装済みプリント基板上を走査するとともに、前記第1のビーム光の前記基板上の照射位置からの反射光を受光して基板の表面形状を取得する実装済みプリント基板の検査装置において、前記ポリゴンミラーに第2のビーム光を照射するとともに、前記第2のビーム光を集光させる投光部と、前記ポリゴンミラーにより偏向された前記投光部からの第2のビーム光が集光する走査線上に配置され、その電気的出力により前記ポリゴンミラーの回転位置を検出する複数の光電変換手段と、前記ポリゴンミラーの回転位置を示す前記光電変換手段の出力信号と、前記出力信号より短い一定の間隔で出力される基準クロック信号とから、前記実装済みプリント基板上からの前記反射光を検出するタイミングを示す信号を作成する回路手段とを備えたことを特徴とする実装済みプリント基板の検査装置。
IPC (4件)：
G01B 11/24
, G01N 21/88
, G02B 26/10 102
, H05K 13/08
