特許

J-GLOBAL ID：200903082562301404

かすめ取出角のX線分析装置

発明者： デ ボックス ピーター クラス
出願人/特許権者： フィリップス エレクトロニクス ネムローゼ フェン ノートシャップ
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-522796
公開番号（公開出願番号）：特表平8-510062
出願日： 1995年02月15日
公開日（公表日）： 1996年10月22日
要約：

【要約】試料により励起された放射をかすめ角で、特に試料表面に対してX線の臨界角以下の角度で取出すX線分析装置である。既知のTXRF法のS/N比に匹敵するS/N比が得られる。試料に入射する前に1次ビームを平行にする必要がないので、試料に対する強度は波長分散検出を行なうことができる程度に維持される。これにより、原子番号が11以下の元素により励起されたX線の測定が可能になる。

請求項（抜粋）：

照射すべき所定の領域にX線ビームを発生するX線源(4)と、 前記所定の領域に配置され、分析すべき材料の試料(2)を支持する試料支持装置と、 照射X線ビームにより試料(2)で励起されたx線を検出する検出器(20)とを具えるX線分析装置において、 試料(2)から試料表面に対してかすめ角で出射して前記検出器(20)に入射するX線の一部を空間的に選択する選択手段を具え、前記試料から出射するX線を検出する検出器(20)を波長選択性検出器として構成したことを特徴とするX線分析装置。