特許

J-GLOBAL ID：200903082565879490

金属膜の加工方法

発明者： 前田 宏 ,  沖原 真祐
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-094200
公開番号（公開出願番号）：特開平7-302839
出願日： 1994年05月06日
公開日（公表日）： 1995年11月14日
要約：

【要約】【目的】 絶縁膜に隔てられた金属膜同士をレーザ光線を用いて電気的に短絡させ、その接続抵抗を低抵抗でかつばらつきを小さくすることができる加工方法を提供する。【構成】 YAGレーザを用いたレーザ光線を複数回しかも同一箇所に照射することで、金属膜同士の短絡部分の接続抵抗を低く、かつばらつきを小さくすることができるものである。

請求項（抜粋）：

絶縁膜を間に挟んで形成した複数層の金属膜同士を電気的に短絡させる際に、前記金属膜の主面方向からレーザ光線を複数回同一箇所に照射することにより短絡させる金属膜の加工方法。

IPC (3件)：

H01L 21/82 ,  B23K 26/00 ,  H01L 21/3205

FI (2件)：

H01L 21/82 F ,  H01L 21/88 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-125951
  
• 特開平2-295155
  
• 特開昭59-178748