特許
J-GLOBAL ID：200903082570913389
画像の二値化良否判別方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-177958
公開番号（公開出願番号）：特開平6-021165
出願日： 1992年07月06日
公開日（公表日）： 1994年01月28日
要約：
【要約】【目的】本発明はウェハ検査の自動化に関し、特にウエハ内のそれぞれのチップに付された識別コードの認識検査に必要な二値化良否判別方法を提供することにある。【構成】識別コードの撮像手段と、撮像画像から濃度値のヒストグラムを求め、判別分析法によりこの画像の二値化しきい値、チップ識別コードの平均濃度値と標準偏差、及び背景の平均濃度値と標準偏差を求め、これらの数値から画像の二値化良否判別を行う画像解析手段と、複数の波長帯の照明を選択可能な波長帯切替手段を設けることにより達成される。【効果】識別コードと背景を含む画像のコントラストの良否が自動的かつ数量的に判別でき、この判別結果に応じて自動的に照明の波長帯を切替ることができるので、識別コードを認識し検査する自動認識検査を行うことが可能となる。
請求項（抜粋）：
ウェハ内のチップを照明する照明手段と、ウェハ内のそれぞれのチップに付された識別コード(チップID)を撮像する撮像手段と、撮像画像から識別コードと背景を含む画像の濃度値のヒストグラムを求め、この濃度値のヒストグラムから判別分析法によりこの画像の二値化しきい値、識別コードの平均濃度値と標準偏差、及び背景の平均濃度値と標準偏差を求め、これらの数値から分離度を求め、この分離度により画像の二値化良否判別を行う画像解析手段を有することを特徴とする画像の二値化良否判別方法。
IPC (4件)：
H01L 21/66
, G01B 11/24
, G06F 15/64 400
, H01L 21/02
