特許

J-GLOBAL ID：200903082571918236

透過電子顕微鏡試料の作製装置

発明者： 清 水 延 男
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-144957
公開番号（公開出願番号）：特開平5-312700
出願日： 1992年05月12日
公開日（公表日）： 1993年11月22日
要約：

【要約】【目的】 ディンプリング加工が終了した複数の薄片試料を、比較的簡単な構造のドライエッチング装置で一括して最終薄片化できるようにする。【構成】 半導体や金属の構造・組織を透過電子顕微鏡で観察すべく、試料をドライエッチングで薄片化するに際し、内部に一対の電極4,5が平行に対向配置された真空チャンバー2内に反応ガスを導入し、反応性イオンエッチングを行えるようにする。一方の電極5に、複数の薄片試料Tが平板面内に平行に装着され、エッチング用の開口部16,17が形成された試料保持部11と、この試料保持部11を回転させる回転機構12を配置する。薄片試料の一方の面がエッチングされると、回転機構12により試料保持部11を180°回転させ、他方の面のエッチングを行う。

請求項（抜粋）：

材料の構造や微細組織を透過電子顕微鏡で観察できるように、材料をドライエッチングで薄片化して透過電子顕微鏡試料を得る作製装置であって、内部に一対の電極が平行に対向配置され、導入された反応性ガスにより反応性イオンエッチングがなされる真空チャンバーと、複数の薄片試料が平板面内に平行に、かつ着脱可能に装着され、薄片試料の表裏面が露出し得る開口部を備えた試料保持部と、この試料保持部を薄片試料の表裏面のエッチングが可能となるように回転させる回転機構を備えていることを特徴とする透過電子顕微鏡試料の作製装置。

IPC (2件)：

G01N 1/32 ,  G01N 1/28

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭60-064228
  
• 特開平1-118738
  
• 特開昭59-006373