特許
J-GLOBAL ID：200903082579987407
光学素子姿勢調整装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
関 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-329136
公開番号（公開出願番号）：特開平10-153727
出願日： 1996年11月25日
公開日（公表日）： 1998年06月09日
要約：
【要約】【課題】 超高真空空間中に設けられた光学素子を容易に姿勢調整できかつ素子本体を容易に取り替えることができる光学素子姿勢調整装置であって、特に自由電子レーザ装置の共振器の光路調整に用いるビームスプリッタの姿勢調整に適合した装置を提供する。【解決手段】 光学素子42の面における入射光軸にほぼ垂直な第1の回転軸を光軸に対して傾ける機構と第1回転軸の方向に並進運動して第1回転軸にほぼ垂直な第2回転軸の周りに光学素子面を傾ける機構とから成る傾斜調整機構40と、その光学素子42と傾斜調整機構40を光軸に対して垂直方向に並進駆動して作動位置と待避位置の間を移動させる並進調整機構30を備える光学素子調整装置。
請求項（抜粋）：
光学素子を囲繞し該光学素子に入射光を導入する開口を有し真空を保持する格納容器と傾斜調整機構と位置調整機構とを備える光学素子姿勢調整装置であって、前記傾斜調整機構が前記光学素子を回動可能に保持するホルダーと前記入射光の光軸に対してほぼ垂直の1方向から作用して該光学素子の向きを2軸方向に調整する作用軸部と該作用軸部を囲繞し気密を保持する可撓性の膜を介して作用軸部を支持する支持筒とを備え、前記位置調整機構が前記格納容器を取り外し可能に固定するベースフランジと前記支持筒を並進させて前記光学素子の中心と前記入射光軸が一致する位置と前記ホルダーが光軸を遮らない位置の間を往復させる機構とを備え、前記支持筒が気密を保持する可撓性膜を介して前記ベースフランジに相対運動可能に支持され、前記ベースフランジが前記傾斜調整機構の作用軸部が貫通する開口を有し、前記格納容器が前記光学素子を通す開口を有する固定用フランジを備え該固定用フランジによりベースフランジに固定されることを特徴とする光学素子姿勢調整装置。
IPC (3件)：
G02B 7/00
, G02B 7/198
, H01S 3/30
G02B 7/00 D
, H01S 3/30 A
, G02B 7/18 C
