走査電子顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-329638
公開番号（公開出願番号）：特開平10-172490
出願日： 1996年12月10日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：

【要約】【課題】視野範囲外の視野探しを容易にすることが求められている。【解決手段】試料9は電子線2で走査される。試料9から得られる二次電子信号は検出器14a及び/又は14bにより検出され、これにもとづいて像表示装置15の第1表示面領域には試料像が表示される。その試料像は観察位置指定用像として該像の位置と共に記憶装置16に記憶される。記憶される像は試料の異なる位置の複数の像であってよい。記憶されている像の一つが選択されて読出され、第2表示面領域に表示される。その表示された観察位置指定用像上の興味ある部分を選択すると、その部分の位置が第1表示面領域の中心に位置づけられるように試料9が水平移動され、上記興味ある部分の拡大像が第1表示面領域に表示される。

請求項（抜粋）：

試料を電子線で走査してその試料を特徴づける情報信号を生成する手段と、その生成された情報信号を検出する手段と、その検出された情報信号にもとづいて前記試料の観察像を得る手段と、その得られた観察像を観察位置指定用像として記憶する手段と、その記憶された観察位置指定用像を読出す手段と、前記得られた観察像及び前記読出された観察位置指定用像をそれぞれの表示面に表示する手段と、その表示された観察位置指定用像上の観察位置を指定する手段と、その指定された観察位置を前記観察像の表示面の予め定められた位置に移動させてその表示面に前記指定された観察位置に対応する観察像を表示するように前記試料の前記電子線による走査位置を制御する手段とを含む走査電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/22 502 , H01J 37/147

FI (2件)：

H01J 37/22 502 B , H01J 37/147 B

引用特許：

審査官引用 (5件)

走査形電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-048258 出願人：株式会社日立製作所
走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-175127 出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立サイエンスシステムズ
特開昭64-084555

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