特許
J-GLOBAL ID：200903082584589991
角速度計測装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-249267
公開番号（公開出願番号）：特開2003-057038
出願日： 2001年08月20日
公開日（公表日）： 2003年02月26日
要約：
【要約】【課題】 本発明は駆動信号のクロストークが生じる場合であっても、長期間に亘って角速度を高精度に検出する。【解決手段】 角速度センサ11は基板12に取付けると共に、基板12には角速度センサ11の周囲に位置して駆動信号を入力する駆動用配線13,14と検出用配線15,16を配設する。また、駆動用配線13,14には、検出用配線15に沿って延びる第1の調整用電極17,18を設けると共に、検出用配線16に沿って延びる第2の調整用電極19,20を設ける。そして、これらの調整用電極17〜20を部分的に切除することによって、駆動用配線13,14と検出用配線15,16との間の静電容量C1′〜C4′を個別に減少させることができ、検出用配線15,16に対する駆動信号のクロストークをほぼ等しくすることができる。
請求項（抜粋）：
駆動信号を受けることにより直交する3軸のうち第1の軸方向に振動し、この状態で第3の軸周りに角速度が加わったとき第2の軸方向に振動する振動体と、該振動体に対して駆動信号を入力する駆動信号入力手段と、前記振動体の第2の軸方向に対する振動を検出して変位に応じた正変位信号,負変位信号をそれぞれ出力する正変位信号出力手段,負変位信号出力手段と、これらの変位信号出力手段による正,負の変位信号の差を演算する減算手段とを備えてなる角速度計測装置において、前記駆動信号入力手段と正変位信号出力手段との間,前記駆動信号入力手段と負変位信号出力手段との間には、前記駆動信号入力手段と正,負の変位信号出力手段との間の静電容量をそれぞれ調整する静電容量調整手段を設けたことを特徴とする角速度計測装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (6件)：
2F105BB03
, 2F105BB04
, 2F105BB08
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD05
