特許

J-GLOBAL ID：200903082584677866

排気制御システム

発明者： 前畑 勝利
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立北海セミコンダクタ株式会社
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-177789
公開番号（公開出願番号）：特開平7-037778
出願日： 1993年07月19日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：

【要約】【目的】 排気系を備えた装置における排気制御の完全自動化が図れるようにする。【構成】 レジスト液を半導体ウェハ2に吐出してレジスト塗布を行うと共に排気系としての排気管7を備えるほか、塗布カップ1及びスピンナモータ3を回転させるスピンナモータ3を備えて構成されるスピン式のレジスト塗布装置であって、ドレインチャンバ4にリーク排気管6を接続し、または排気管7の途中に排気量測定管10を接続し、排気管7にダンパー8を設けた場合の不都合を解消する。

請求項（抜粋）：

レジスト液または有機溶剤を半導体ウェハに接触させて所定の処理を行うと共に排気系を備えたスピンナー式の装置であって、この装置に付属する排気チャンバまたは排気管の途中にリーク排気用の系を接続したことを特徴とする排気制御システム。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  H01L 21/304 341

FI (2件)：

H01L 21/30 564 C ,  H01L 21/30 569 C