特許

J-GLOBAL ID：200903082586572590

耐熱感光性樹脂組成物、該組成物を用いたパターン製造方法、及び電子部品

発明者： 小松 博 ,  中野 一 ,  藤枝 永敏
出願人/特許権者： 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-054299
公開番号（公開出願番号）：特開2004-264537
出願日： 2003年02月28日
公開日（公表日）： 2004年09月24日
要約：

【課題】本発明は、良好な硬化膜物性を有する耐熱感光性樹脂組成物を提供することを目的とするものである。【解決手段】(A)酸性官能基及び/又はその誘導置換基を有する重合体、(B)前記酸性官能基及び/又はその誘導置換基と加熱により反応し、前記重合体をより高分子量化する、アミン官能基から誘導される置換基を少なくとも一つ有する化合物、(C)光反応性化合物、及び(D)溶媒を含有してなる感光性樹脂組成物、前記感光性樹脂組成物を使用したパターンの製造方法、及び電子部品。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

(A)酸性官能基及び/又はその誘導置換基を有する重合体、(B)前記酸性官能基及び/又はその誘導置換基と加熱により反応し、前記重合体をより高分子量化する、アミン官能基から誘導される置換基を少なくとも一つ有する化合物、(C)光反応性化合物、及び(D)溶媒を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F7/004 ,  C08G73/06 ,  G03F7/027 ,  G03F7/037 ,  H01L21/027

FI (5件)：

G03F7/004 501 ,  C08G73/06 ,  G03F7/027 514 ,  G03F7/037 ,  H01L21/30 502R

Fターム (50件)：

2H025AA10 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC69 ,  2H025BC70 ,  2H025BE00 ,  2H025CA01 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CA30 ,  2H025CB25 ,  2H025CB26 ,  2H025CC03 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J043PA02 ,  4J043PA04 ,  4J043QB14 ,  4J043QB15 ,  4J043QB31 ,  4J043QB33 ,  4J043RA35 ,  4J043RA52 ,  4J043SA06 ,  4J043SA71 ,  4J043TA14 ,  4J043TA22 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA261 ,  4J043UA262 ,  4J043UB011 ,  4J043UB012 ,  4J043UB121 ,  4J043UB152 ,  4J043UB281 ,  4J043UB301 ,  4J043UB302 ,  4J043UB401 ,  4J043UB402 ,  4J043XA19 ,  4J043ZB22

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 耐熱性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-227814   出願人：東レ株式会社
• 感光性重合体組成物、レリ-フパタ-ンの製造法及び電子部品
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-086995   出願人：日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
• 感光性耐熱性樹脂前駆体組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-058177   出願人：東レ株式会社
• 耐熱感光性樹脂組成物、パターン製造法及び半導体デバイス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-138688   出願人：日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社