特許
J-GLOBAL ID：200903082586639511
光照射装置のシャッタ機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-229449
公開番号（公開出願番号）：特開平11-067656
出願日： 1997年08月26日
公開日（公表日）： 1999年03月09日
要約：
【要約】【課題】 シャッタ板の占める面積が小さく、大型のシャッタ駆動機構を必要とせず、シャッタ板を効果的に冷却できるシャッタ機構を提供すること。【解決手段】 光照射源から射出される光はシャッタ板11aにより遮光されている。シャッタを開くには、エアシリンダ16aによりシャッタ板11aを上方に移動させる。このとき、冷却ノズル14aもシャッタ板11aと共に移動し、シャッタ板11aの中心部は常に冷却用エアーにより冷却される。シャッタを閉じるには、エアーシリンダ16bによりシャッタ板11bを上方に移動させる。これにより、光はシャッタ板11bにより遮光される。冷却ノズル14bはシャッタ板11bと共に移動し、シャッタ板11bは常に冷却用エアーにより冷却される。次にシャッタを開く場合には、シャッタ板11bを下方に移動させ、シャッタを閉じるには、シャッタ板11aを下方に移動させる。
請求項（抜粋）：
ショートアーク型の放電ランプと、該放電ランプからの光を投影する光学機構と、該光学機構の内部に配置され、上記放電ランプからの光を遮光するシャッタ機構とを有する光照射装置のシャッタ機構であって、上記シャッタ機構は、往復移動する2枚の遮光板からなり、該2枚の遮光板が交互に光を遮光することを特徴とする光照射装置のシャッタ機構。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G02B 26/02
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 515 E
, G02B 26/02 B
, G03F 7/20 521
