特許

J-GLOBAL ID：200903082597438240

静電容量式加速度センサ

発明者： 小出 晃 ,  金丸 昌敏 ,  鈴木 清光 ,  堀江 潤一
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-137969
公開番号（公開出願番号）：特開平9-318656
出願日： 1996年05月31日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：

【要約】【課題】本願発明の課題は、小型でありながら静電容量の絶対値が大きくしかも検出誤差の少ない静電容量式加速度センサを提供することにある。【解決手段】上記課題は、可動電極に空孔部設け、この空孔部に固定電極が配置することにより解決する。

請求項（抜粋）：

固定電極と、加速度に応じて前記固定電極に対して相対的に変位する可動電極と、前記固定電極と前記可動電極との間の静電容量を検出する静電容量検出手段を備えた静電容量式加速度センサにおいて、前記可動電極は前記可動電極の変位方向に対して垂直方向に空孔部を有し、この空孔部内に前記可動電極の変位方向に対して垂直方向に前記固定電極が配置されていることを特徴とする静電容量式加速度センサ。