特許

J-GLOBAL ID：200903082600831510

真空排気システム

発明者： 深井 登喜男 ,  柳澤 清司
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-281960
公開番号（公開出願番号）：特開2003-089877
出願日： 2001年09月17日
公開日（公表日）： 2003年03月28日
要約：

【要約】【課題】 圧力センサの誤動作によるシステムの停止を防止し、歩留まりを向上して稼働率を上げることができる真空排気システムを提供する。【解決手段】 真空チャンバ10に接続された真空ポンプ20と、ガス供給源40からのパージガスを真空ポンプ20の排気配管30に導入するパージガス導入配管42と、パージガス導入配管42に設置された圧力センサ50とを備えた。パージガス導入配管42を介して導入されるパージガスの流量vpを排気配管30を介して真空ポンプ20により排気されるガスの流量vdよりも多くする。

請求項（抜粋）：

真空チャンバに接続された真空ポンプと、ガス供給源からのパージガスを前記真空ポンプの排気配管に導入するパージガス導入配管と、前記パージガス導入配管に設置された圧力センサとを備えたことを特徴とする真空排気システム。

IPC (2件)：

C23C 16/455 ,  F04B 37/16

FI (3件)：

C23C 16/455 ,  F04B 37/16 A ,  F04B 37/16 H

Fターム (11件)：

3H076AA21 ,  3H076BB21 ,  3H076BB28 ,  3H076CC95 ,  4K030CA04 ,  4K030EA11 ,  4K030JA05 ,  4K030JA09 ,  4K030KA28 ,  4K030KA39 ,  4K030LA15