特許

J-GLOBAL ID：200903082602660739

熱量センサ

発明者： ガーバー、クリシュトフ ,  ギムツエヴェスキ、ヤメス、カッィミエールツ ,  ライール、ブルーノ ,  シュリットラー、レート、ルドルフ
出願人/特許権者： インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーシヨン
代理人 (1件)： 合田 潔 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-503771
公開番号（公開出願番号）：特表平8-508571
出願日： 1993年07月06日
公開日（公表日）： 1996年09月10日
要約：

【要約】バイメタル式レバー(21、22)を、触媒などの化学的検知層(23)およびバイメタル式レバーのたわみを決定する高感度装置(6)と組み合わせた熱量センサが記述される。高感度であるため、この新しいセンサは様々な技術分野に応用できる。

請求項（抜粋）：

異なる熱膨張率を有する材料からなる少なくとも2つの層(21、22)を有し、そのうちの1つが化学的検知層(23)であるたわみ素子(5)と、前記たわみ素子(5)のたわみを決定する手段(6)とを含む、熱量センサ、特に熱量ガス・センサ。

IPC (2件)：

G01N 25/22 ,  G01N 25/34

FI (2件)：

G01N 25/22 ,  G01N 25/34

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開昭59-211922