特許
J-GLOBAL ID：200903082605353691
流体制御弁
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
石田 敬
, 鶴田 準一
, 中山 恭介
, 西山 雅也
, 樋口 外治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-194953
公開番号（公開出願番号）：特開2004-038571
出願日： 2002年07月03日
公開日（公表日）： 2004年02月05日
要約：
【課題】流体への不純物の流出や薬液の汚染の少ない耐久性に優れ安定した制御性能を有する流体制御弁の提供。【解決手段】流体制御弁は、第二の空隙8とこれより大径の第一の空隙10と空隙間の連通孔12とを有する本体1と、内部にピストン4とバネ24を収容した空隙16を有するボンネット2と、ピストンの下方に連結され第一の空隙10を蓋する形の第一ダイヤフラム27を有する第一弁機構体5と、第一弁機構に連結され下端に第二ダイヤフラム37を有し流通孔12を開閉する第二弁機構6と、本体1の下方に位置し第二ダイヤフラム37を本体1との間で挟持するベースプレート7とからなり、ピストン4の上下動に伴って第二弁機構6の弁体32と本体1の弁座13とで形成される流体制御部39の開口面積が変化するよう構成されている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
下部中央に底部まで開放して設けられた第二の空隙(8)と第二の空隙(8)に連通する入口流路(9)と上部に上面が開放して設けられ第二の空隙(8)の径よりも大きい径を持つ第一の空隙(10)と第一の空隙(10)に連通する出口流路(11)と第一の空隙(10)と第二の空隙(8)とを連通し第一の空隙(10)の径よりも小さい径を有する連通孔(12)とを有し、第二の空隙(8)の上面が弁座(13)とされた本体(1)と、側面あるいは上面に設けられた給気孔(14)と排気孔(15)とに連通した円筒状の空隙(16)を内部に有し、下端内周面に段差部(17)が設けられたボンネット(2)と、ボンネット(2)の段差部(17)に嵌挿され中央部に貫通孔(18)を有するバネ受け(3)と、下端部にバネ受け(3)の貫通孔(18)より小径の第一接合部(23)を有し上部に鍔部(21)が設けられボンネット(2)の空隙(16)内部に上下動可能に嵌挿されたピストン(4)と、ピストン(4)の鍔部(21)下端面とバネ受け(3)の上端面で挟持支承されているバネ(24)と、周縁部が本体(1)とバネ受け(3)との間で挟持固定され、本体(1)の第一の空隙(10)に蓋する形で第一の弁室(31)を形成する中央部が肉厚とされた第一ダイヤフラム(27)と上面中央にピストン(4)の第一接合部(23)とバネ受け(3)の貫通孔(18)を貫通して接合固定される第二接合部(29)と下面中央に本体(1)の連通孔(12)と同軸に設けられた第三接合部(30)とを有する第一弁機構体(5)と、本体(1)の第二の空隙(8)内部に位置し本体(1)の連通孔(12)より大径に設けられた弁体(32)と弁体(32)上端面に突出して設けられ第一弁機構体(5)の第三接合部(30)と接合固定される第四接合部(34)と弁体(32)下端面より突出して設けられたロッド(35)とロッド(35)下端面より径方向に延出して設けられた第二ダイヤフラム(37)とを有する第二弁機構体(6)と、本体(1)の下方に位置し第二弁機構体(6)の第二ダイヤフラム(37)周縁部を本体(1)との間で狭持固定する突出部(40)を上部中央に有し、突出部(40)の上端部に切欠凹部(41)が設けられると共に切欠凹部(41)に連通する呼吸孔(42)が設けられているベースプレート(7)とよりなり、ピストン(4)の上下動に伴って第二弁機構体(6)の弁体(32)と本体(1)の弁座(13)とによって形成される流体制御部(39)の開口面積が変化するように構成されていることを特徴とする流体制御弁。
IPC (3件)：
G05D7/01
, F16K31/122
, F16K31/126
G05D7/01 A
, F16K31/122
, F16K31/126 Z
3H056AA01
, 3H056BB01
, 3H056BB24
, 3H056BB31
, 3H056CA01
, 3H056CA07
, 3H056CB01
, 3H056CD04
, 3H056DD05
, 3H056EE06
, 3H056GG02
, 3H056GG12
, 5H307AA20
, 5H307BB05
, 5H307DD17
, 5H307EE02
, 5H307EE12
, 5H307GG11
, 5H307JJ03
, 5H307KK04
