特許

J-GLOBAL ID：200903082612720080

ボンデイングワイヤ検査装置

発明者： 菅原 健二
出願人/特許権者： 株式会社新川
代理人 (1件)： 田辺 良徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-308358
公開番号（公開出願番号）：特開平5-121512
出願日： 1991年10月29日
公開日（公表日）： 1993年05月18日
要約：

【要約】【目的】ボンデイングされたワイヤ、パッド上のボール部及びリード上のクレセントを鮮明に映し出すことができ、信頼性のある検査測定を行う。【構成】検査対象物であるワイヤ5、ボール部5a及びクレセント5bを撮像するカメラ12と、カメラ12の下方に設けられ、検査対象物に垂直に照明を照射する垂直照明手段20と、垂直照明手段20の下方に設けられ、多数のLED32、34がリング状に、かつカメラ12の光軸中心12aに向かって傾斜して配設された高照射角度リング状照明器33、低照射角度リング状照明器35とを備えている。

請求項（抜粋）：

検査対象物を撮像するカメラと、このカメラの下方に設けられ、検査対象物に垂直に照明を照射する垂直照明手段と、この垂直照明手段の下方に設けられ、多数のLEDがリング状に、かつ前記カメラの光軸中心に向かって傾斜して配設されたリング状照明手段とを備えたことを特徴とするボンデイングワイヤ検査装置。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  H01L 21/60 301

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭62-127617
  
• 特開平2-272307
  
• 特開平2-254308