ガラス基板の片面研摩方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-317539
公開番号（公開出願番号）：特開平5-123963
出願日： 1991年11月05日
公開日（公表日）： 1993年05月21日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】本発明は研摩時におけるキズ、スクラッチの発生を防止し、フラットネスを向上させるガラス基板の片面研摩方法の提供を目的とするものである。【構成】本発明によるガラス基板の片面研摩方法は、プレッシャープレートと研摩定盤とよりなる片面研摩機において、プレッシャープレート側キャリア内部にクロスを張りつけた研摩機を用いることを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

プレッシャープレート(上側)と研摩定盤(下側)とからなり、プレッシャープレートが揺動することで研摩する片面研摩機において、プレッシャープレート側キャリア内部にクロスを張りつけた研摩機を用いてなることを特徴とするガラス基板の研摩方法。

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