特許

J-GLOBAL ID：200903082624746025

セラミックス膜およびその製造方法、セラミックス複合膜およびその製造方法ならびに切削工具

発明者： 吉村 雅司 ,  小池 さち子 ,  池ヶ谷 明彦 ,  戸田 直大 ,  瀬戸山 誠 ,  織田 一彦
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (6件)： 深見 久郎 ,  森田 俊雄 ,  仲村 義平 ,  堀井 豊 ,  野田 久登 ,  酒井 將行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-290455
公開番号（公開出願番号）：特開2006-131992
出願日： 2005年10月03日
公開日（公表日）： 2006年05月25日
要約：

【課題】耐摩耗性に優れた被膜を有する切削工具を提供する。【解決手段】基材9表面の少なくとも刃先部位に、Al2O3膜が形成された切削工具であって、Al2O3膜29が多結晶であり、平均結晶粒径が1nm以上500nm以下であり、緻密度が60%以上、膜厚が0.5μm以上100μm以下である。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基材上に形成され、厚みが0.5μm以上100μm以下であり、平均結晶粒径が1nm以上500nm以下であり、緻密度が60%以上であることを特徴とする、セラミックス膜。

IPC (3件)：

C23C 30/00 ,  B23B 27/14 ,  C23C 24/08

FI (3件)：

C23C30/00 C ,  B23B27/14 A ,  C23C24/08

Fターム (17件)：

3C046FF02 ,  3C046FF10 ,  3C046FF13 ,  3C046FF25 ,  3C046GG00 ,  3C046HH04 ,  4K044AA09 ,  4K044AA13 ,  4K044AB10 ,  4K044BA13 ,  4K044BA18 ,  4K044BB01 ,  4K044BC06 ,  4K044CA23 ,  4K044CA24 ,  4K044CA29 ,  4K044CA62

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 摺動部材とその作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-077629   出願人：独立行政法人産業技術総合研究所, 東陶機器株式会社
• 特許公報第3210405号公報