特許

J-GLOBAL ID：200903082624822104

圧電共振子およびそれを用いた圧電フィルタ

発明者： 柴田 明彦 ,  竹内 雅樹 ,  塚井 紀充
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 岡田 全啓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-189125
公開番号（公開出願番号）：特開2002-009579
出願日： 2000年06月23日
公開日（公表日）： 2002年01月11日
要約：

【要約】【課題】 インピーダンスが小さく、スプリアス振動の影響の少ない圧電共振子を得るとともに、圧電共振子のスプリアス振動の影響によって生じる通過帯域中のリップルが小さく、広い通過帯域を有する圧電フィルタを得る。【解決手段】 圧電共振子10は、基板12を含む。基板12上に、誘電体薄膜14、1対の電極薄膜16、圧電体薄膜18からなる振動部20を形成する。この圧電共振子10に、厚み縦振動または厚みすべり振動のn次モードを励振する。電極薄膜16対向部の半径をr、振動部20の厚みをtとしたとき、r≧20t/nの条件を満足するように設定する。このような圧電共振子10をラダー型に接続することにより、圧電フィルタを形成する。

請求項（抜粋）：

少なくとも1層以上の圧電体、もしくは圧電体と誘電体の多層構造からなる振動部、および前記振動部に形成される少なくとも1対の対向する電極を含む厚み縦振動または厚みすべり振動のn次モードを利用した圧電共振子において、前記電極対向部の平面形状が円形または円形を内包する任意の形状であって、前記円形の半径をr、前記電極の対向部における前記振動部の厚みをtとしたとき、前記半径rが、r≧20t/nの範囲にあることを特徴とする、圧電共振子。

IPC (2件)：

H03H 9/17 ,  H03H 9/58

FI (2件)：

H03H 9/17 F ,  H03H 9/58 A

Fターム (10件)：

5J108AA01 ,  5J108AA04 ,  5J108AA07 ,  5J108BB04 ,  5J108BB07 ,  5J108DD01 ,  5J108DD02 ,  5J108DD06 ,  5J108FF02 ,  5J108FF04

引用特許：

審査官引用 (4件)

• チップ型圧電部品
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-327685   出願人：住友金属工業株式会社
• エネルギー閉じ込め型厚み縦圧電共振子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-155283   出願人：株式会社村田製作所
• 特公平1-048694
  
• 特公平3-056013