パターン検査装置およびパターン検査方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福島祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-206909
公開番号（公開出願番号）：特開平9-054829
出願日： 1995年08月14日
公開日（公表日）： 1997年02月25日
要約：

【要約】【課題】 2つのパターンを比較して相違する部分を検出する作業を容易かつ迅速に行うことができるパターン検査装置およびパターン検査方法を提供することである。【解決手段】入力スキャナ20は修正前後の原版フィルムの画像を読み取り、それぞれ修正前画像データおよび修正後画像データとして修正前画像メモリ1および修正後画像メモリ2に格納する。比較部4は、修正前画像データと修正後画像データとをブロック単位で比較し、その比較結果に基づいて合成画像データを作成し、合成画像メモリ5に格納する。色情報変換部6は、合成画像データをカラーテーブル7に基づいて色情報に変換し、修正前後の原版フィルムの相違部分を一致部分よりも濃い色で表示しかつ相違ブロック内の背景を一致ブロック内の背景よりも淡い色で表示するとともに相違部分をそれぞれ異なる色で表示しつつカラーモニタ30およびカラープリンタ40に出力する。

請求項（抜粋）：

第1および第2のパターンを比較して相違部分を検出するパターン検査装置であって、前記第1および第2のパターンの画像をそれぞれ第1および第2の画像データとして入力する画像入力手段と、前記画像入力手段により入力された前記第1および第2の画像データの互いに対応する部分を比較する比較手段と、前記比較手段の比較結果に基づいて、前記第1および第2のパターンの互いに相違する部分をそれぞれ異なる色で表示しかつ前記第1および第2のパターンの互いに一致する部分を前記相違する部分と異なる濃度で表示しつつ前記第1および第2のパターンを1つの画像に合成して出力する画像合成手段とを備えたことを特徴とするパターン検査装置。

IPC (3件)：

G06T 7/00 , G03F 1/00 , H04N 1/387

FI (4件)：

G06F 15/62 410 A , G03F 1/00 W , H04N 1/387 , G06F 15/70 455 B

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