特許
J-GLOBAL ID:200903082638986649
有機分子検出素子および有機分子検出装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
古谷 史旺
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-310507
公開番号(公開出願番号):特開2004-144630
出願日: 2002年10月25日
公開日(公表日): 2004年05月20日
要約:
【課題】作業効率の向上と検出装置の小型化および簡素化とを実現できると共に、検出感度を向上させることもできる有機分子検出用素子および有機分子検出装置を提供する。【解決手段】半導体基板11の主面に一対の電極領域21,22を設け、半導体基板の主面に形成された絶縁膜12,13と、絶縁膜を介して電極領域の間の主面側の所定領11a域を覆うように形成された金属膜17と、金属膜の表面に配置された有機分子の固定領域19とを含む。所定領域11aには、少なくとも固定領域19に有機分子が固定されたとき、該固定された有機分子の帯電量に応じて電流経路が形成される。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
半導体基板の主面に一対の電極領域を設け、
前記主面に形成された絶縁膜と、
前記絶縁膜を介して前記電極領域の間の前記主面側の所定領域を覆うように形成された金属膜と、
前記金属膜の表面に配置された有機分子の固定領域とを含み、
前記所定領域には、少なくとも前記固定領域に前記有機分子が固定されたとき、該固定された有機分子の帯電量に応じて電流経路が形成される
ことを特徴とする有機分子検出素子。
IPC (2件):
FI (2件):
G01N27/60 A
, G01N33/483 F
Fターム (7件):
2G045AA35
, 2G045DA13
, 2G045DA14
, 2G045DA36
, 2G045FB05
, 2G045GC20
, 2G045JA07
引用特許: