特許

J-GLOBAL ID：200903082641293107

AC型プラズマディスプレイパネル用保護膜材料及びその製造方法と、AC型プラズマディスプレイパネル

発明者： 沢田 隆夫 ,  渡部 勁二 ,  福山 敬二 ,  星崎 潤一郎
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-017012
公開番号（公開出願番号）：特開平11-213875
出願日： 1998年01月29日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：

【要約】【課題】 AC型PDPの保護膜(MgO膜)の膜質改善により、放電特性に起因するPDPの表示性能の改善を図る。【解決手段】 AC型PDPの前面基板上に形成される誘電体層上を全面的に被覆する保護膜としてのMgO膜は、次の通りに生成される。即ち、電融法により単結晶又は多結晶として生成されるMgOペレットを、まず、真空中又は大気中において1400 ゚C以上の温度下で熱処理を施す。その後、MgOペレットを蒸着源として、少なくとも上記誘電体層に200 ゚C以上の温度を与えた状態且つ酸素雰囲気中で、電子ビーム蒸着法によりMgO膜を形成する。

請求項（抜粋）：

AC型プラズマディスプレイパネルの前面パネルに含まれる誘電体層の表面上に形成される保護膜を構成する単結晶又は多結晶の材料であって、結晶成長後、前記保護膜の形成前に所定の雰囲気中で所定の熱処理が施されていることを特徴とする、AC型プラズマディスプレイパネル用保護膜材料。

IPC (4件)：

H01J 9/02 ,  H01J 11/00 ,  H01J 11/02 ,  C23C 14/30

FI (4件)：

H01J 9/02 F ,  H01J 11/00 K ,  H01J 11/02 B ,  C23C 14/30 Z