特許
J-GLOBAL ID：200903082643657645
高濃度オゾンの供給方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
木戸 一彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-143060
公開番号（公開出願番号）：特開平9-328302
出願日： 1996年06月05日
公開日（公表日）： 1997年12月22日
要約：
【要約】【課題】 系内への窒素等の蓄積を防止し、効率よく高濃度オゾンを供給できる方法及び装置を提供する。【解決手段】 酸素PSA装置21から導出した酸素ガスをオゾン発生器22に供給してオゾン含有ガスとし、オゾン含有ガスをオゾン濃縮装置23に供給してオゾンを濃縮し、オゾン濃縮装置23から導出したオゾン濃縮ガスを高濃度オゾンとしてオゾン処理設備に供給するとともに、オゾン濃縮装置23から導出される排ガスをオゾン発生器22に循環供給し、かつ、該排ガスの一部をオゾン濃縮装置23の掃気ガスとして使用する。
請求項（抜粋）：
圧力変動吸着分離式酸素発生装置から導出した酸素ガスをオゾン発生器に供給してオゾン含有ガスとし、該オゾン含有ガスを、オゾンを優先的に吸着する吸着剤を充填した吸着筒を複数並列に配設したオゾン濃縮装置に供給してオゾンを濃縮し、該オゾン濃縮装置から導出したオゾン濃縮ガスを高濃度オゾンとしてオゾン処理設備に供給するとともに、該オゾン濃縮装置から導出される排ガスを前記オゾン発生器に循環供給し、かつ、該排ガスの一部を前記オゾン濃縮装置の掃気ガスとして使用することを特徴とする高濃度オゾンの供給方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C01B 13/10 A
, B01D 53/04 B
