特許
J-GLOBAL ID：200903082656531870
品質検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三宅 景介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-286241
公開番号（公開出願番号）：特開平11-108635
出願日： 1997年10月03日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：
【要約】【課題】 検査精度を向上させて検査の信頼性を向上させることができる品質検査装置を提供する。【解決手段】 被検査物1の被検査面3を撮像する撮像カメラ2と、被検査面3を照明するための照明光5、7を出射する第1、第2の照明光源4、6と、照明光5、7を散乱させる光拡散部材8と、撮像カメラ2からの出力をもとに被検査面3の欠陥の有無を判定する判定手段8とを備える。照明光5、7を光拡散部材8により散乱させて被検査面3を照明することにより、被検査面3がうねり部10等を有していても、全面に亘ってほぼ均一な照度で照明することができ、撮像データに縞模様状の濃淡がほとんど生じないようにして傷等の欠陥と明確に識別することができる。
請求項（抜粋）：
被検査物の被検査面を照明するための照明光を出射する照明光源と、この照明光源を散乱光が得られるように被覆する光拡散部材と、上記照明光の散乱光により照明された被検査面を撮像する撮像手段と、この撮像手段からの出力をもとに上記被検査面の欠陥の有無を判定する判定手段とを備えた品質検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/30 C
, G01N 21/84 E
