特許

J-GLOBAL ID：200903082658651090

半球状のインクチャンバを有するインクジェットプリントヘッドの製造方法

発明者： 李 相郁 ,  金 鉉哲 ,  呉 龍洙
出願人/特許権者： 三星電子株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-380557
公開番号（公開出願番号）：特開2002-225292
出願日： 2001年12月13日
公開日（公表日）： 2002年08月14日
要約：

【要約】【課題】 半球状のインクチャンバを有するインクジェットプリントヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】 基板の表面にノズル板を形成し、ノズル板上に環状のヒーター及び電極を形成し、基板をエッチングしてマニホルドを形成し、ヒーターの内側にノズル板をエッチングしてノズルを形成し、ヒーターの外側からマニホルド側にノズル板をエッチングしてインクチャンネル形成用溝を形成する。ノズルにより露出された基板をエッチングして半球状のインクチャンバを形成し、インクチャンネル形成用溝により露出された基板を等方性エッチングしてインクチャンバ及びマニホルドを連結させるインクチャンネルを形成する。ノズル板上に第1物質膜を形成してインクチャンネル形成用溝を閉塞する。第1物質膜は、インクチャンネル形成用溝を通じてインクが漏れることを防止するためのものである。

請求項（抜粋）：

基板の表面にノズル板を形成する段階と、前記ノズル板上に環状のヒーターを形成する段階と、前記基板をエッチングしてインクを供給するマニホルドを形成する段階と、前記ノズル板上に前記ヒーターと電気的に接続される電極を形成する段階と、前記ヒーターの内側に前記ヒーターよりも小さい直径で前記ノズル板をエッチングしてインクの吐出がなされるノズルを形成する段階と、前記ヒーターの外側から前記マニホルド側に前記ノズル板をエッチングして前記基板を露出させるインクチャンネル形成用溝を形成する段階と、前記ノズルにより露出された前記基板をエッチングして、前記ヒーターよりも大きい直径を有し、実質的に半球状のインクチャンバを形成する段階と、前記インクチャンネル形成用溝により露出された前記基板を等方性エッチングして前記インクチャンバと前記マニホルドとを連結させるインクチャンネルを形成する段階と、前記ノズル板上に所定の第1物質膜を形成して前記インクチャンネル形成用溝を閉塞する段階とを具備することを特徴とする半球状のインクチャンバを有するインクジェットプリントヘッドの製造方法。

IPC (2件)：

B41J 2/16 ,  B41J 2/05

FI (2件)：

B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 B

Fターム (14件)：

2C057AF93 ,  2C057AG04 ,  2C057AG15 ,  2C057AG29 ,  2C057AG39 ,  2C057AG46 ,  2C057AG85 ,  2C057AP33 ,  2C057AP34 ,  2C057AP54 ,  2C057AP56 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA03 ,  2C057BA13