特許

J-GLOBAL ID：200903082664272425

外観検査装置

発明者： 木邑 正儀
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-234457
公開番号（公開出願番号）：特開平6-082216
出願日： 1992年09月02日
公開日（公表日）： 1994年03月22日
要約：

【要約】【目的】波長が異なる複数の光源を配置して被検査品を所定の角度から照明することにより、撮像操作を簡単にして処理時間を短縮する。【構成】照明装置10の光源11a,12a,11b,12bを同時に点灯し、波長aおよび波長bの光を被検査品40に照射する。レンズ系21を通過した反射光Lをビームスプリッタ22によって分岐する。分岐した一方の反射光L1は、フィルタ23を介してビデオカメラ25に入射する。フィルタ23は、反射光L1の波長aの光のみを通過させる。分岐した他方の反射光L2は、フィルタ24を介してビデオカメラ26に入射する。フィルタ24は、反射光L2の波長bの光のみを通過させる。ビデオカメラ25,26は、画像信号S1,S2を送出する。画像処理装置30は、画像信号S1,S2を処理して被検査品40の外観状態の良否を判定する。

請求項（抜粋）：

波長が異なる複数の光源を配置して被検査品を異なる角度から照明する照明装置と、前記被検査品からの反射光を結像させるレンズ系と、このレンズ系の光軸上に配置されて前記反射光を分岐するビームスプリッタと、このビームスプリッタによって分岐された反射光の一つを受けて所定の波長の反射光のみを通過させる複数のフィルタと、この複数のフィルタを通過した反射光をそれぞれ撮像して画像信号を送出する複数のビデオカメラと、前記画像信号を処理して前記被検査品の外観状態の良否を判定する画像処理装置とを備えることを特徴とする外観検査装置。

IPC (2件)：

G01B 11/00 ,  G01N 21/88

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-184582
  
• 特開昭57-013340
  
• 特開昭62-038348