特許
J-GLOBAL ID：200903082666441844
集束イオンビーム装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-333535
公開番号（公開出願番号）：特開2002-134059
出願日： 2000年10月27日
公開日（公表日）： 2002年05月10日
要約：
【要約】【課題】荷電粒子線装置の光学系自動補正装置は、FIB装置に適用するには解析手段の不足、解析結果検証機能が無い、試料依存性が大きい等、各々の性能に問題があった。【解決手段】FIB用レンズ、補正用偏向器、ビーム制限アパーチャなどの設定を変更した状態で撮影したSIM像間の位置ずれ量に基づいて軸ずれと焦点位置ずれと非点を自動補正する。【効果】位置ずれ量に基づく解析法は試料依存性が少ないので、ビーム電流を変更した場合や、イオン銃でドリフトが生じた場合など適用範囲が拡大する。また本位置ずれ解析法の採用によって装置補正精度は1桁向上する。位置ずれ解析結果の信頼性を一致度から検証できるので、誤動作防止フローを付加した無人稼働が可能になる。
請求項（抜粋）：
イオン銃と、前記イオン銃からのイオンビームを集束する集束イオンビーム用レンズと、試料を掲載する試料台と、前記集束イオンビーム用レンズの焦点位置が第1の位置にある時に、集束イオンビームが前記集束イオンビーム用レンズを通過して試料に照射して前記試料からの荷電粒子で得られる第1の走査イオン顕微鏡像と、前記集束イオンビーム用レンズの焦点位置が第2の位置にある時に得られる第2の走査イオン顕微鏡像を記録して、第1の走査イオン顕微鏡像と第2の走査イオン顕微鏡像との間の位置ずれ量と一致度を解析する画像解析装置と、前記位置ずれ量から偏向補正信号に変換する制御部と、集束イオンビームの光路を制御する偏向制御装置を持つことを特徴とする集束イオンビーム装置。
IPC (4件)：
H01J 37/317
, H01J 37/04
, H01J 37/147
, H01J 37/21
H01J 37/317 D
, H01J 37/04 B
, H01J 37/147 D
, H01J 37/21 Z
5C030AA06
, 5C030AB05
, 5C033MM03
, 5C034DD03
, 5C034DD05
出願人引用 (3件)
審査官引用 (6件)
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