特許
J-GLOBAL ID：200903082667569020
波面測定装置及びそれを搭載した半導体露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-235334
公開番号（公開出願番号）：特開2004-077207
出願日： 2002年08月13日
公開日（公表日）： 2004年03月11日
要約：
【課題】可干渉距離の短い露光光源を使用したフィゾー干渉計において、波長板、偏光素子を組合せることで干渉光束と不要光束の偏光方向を直交させ分離することで、Visibilityの良い2光束干渉縞を得て波面測定速度を向上させる。【解決手段】フィゾー面より前の光路長付与部において、分割した光束のうち一方の偏光状態をλ/4波長板を使用して他方の光束に対して直行させ、かつフィゾー面と被検レンズの間にλ/4波長板を配置することで干渉2光束と非干渉2光束の偏光状態を直交させる。さらに偏光分離素子を用いてこれら光束を分離する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
光源であるレ-ザから放射された光束を、フィゾー干渉計を構成する半透過参照面(以後フィゾー面と呼ぶ)に入射する前に2光束に分離・再結合するためのビ-ムスプリッタと、2光束が分離している間の光路長差が光源の可干渉距離以上で且つフィゾー干渉計の光路長との差が光源の可干渉距離以内になるように配置されたミラ-からなる光路長差付与部を設けたフィゾー干渉計において、前記光路長付与部にて一方の光束の偏光方向をもう一方の光束に対して直交させる手段と、前記フィゾー面と被測定対象との間にλ/4波長板を有することを特徴とした干渉測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B9/02
, H01L21/30 515D
2F064BB00
, 2F064EE05
, 2F064FF02
, 2F064GG11
, 2F064GG12
, 2F064GG23
, 2F064GG38
, 2F064HH03
, 2F064HH09
, 5F046CA04
, 5F046CA08
, 5F046CB01
, 5F046CB02
, 5F046CB07
, 5F046CB10
, 5F046CB11
, 5F046CB12
, 5F046CB14
, 5F046CB15
, 5F046CB25
, 5F046DA13
